放置地点：纺织品表面改性室 电力大楼0526
生产厂家：苏州市奥普斯等离子体科技有限公司
型号：SY-DT03
1）技术参数：
| 整机规格 |
700mm(W)×700mm(D)×1600 mm(H) |
| 腔体规格 |
Φ230mm×210mm |
| 腔体容积 |
8.5L |
| 电极规格 |
外置环形电极 |
| 载物规格 |
单层，180mm×185mm（平放、悬挂均可） |
| 电源系统 |
RF射频等离子发生源，全自动阻抗匹配；13.56MHz |
| 控制系统 |
触摸屏+PLC自动控制 |
| 真空系统 |
抽速：6L/S |
| 气路系统 |
2路工作气体、1路放空、1路接枝 |
| 工作电压 |
AC220V |
2）产品特点：
RF射频晶体管等离子发生源，全自动阻抗匹配。
柜式结构，真空泵内置，有效节约占地面积。
万向底轮设计，方便设备移动。
高强度石英石玻璃腔体，易清洁、耐腐蚀。
置物方式多样化，可平放、可悬挂。
外置环形电极，有效避免对腔体内的污染。
真彩色全中文界面触摸屏，画面清晰，操作方便。
PLC自动控制，功能齐全，所有运行参数可自行设置并监控，主要功能包括：手动模式/自动模式任意切换、PID自动调节、自动操作、自动报警功能（如：相序异常、真空泵异常、真空泵过载、气体报警、放空报警、电源无功率输出报警、真空度过高报警、真空度过低报警等）、实时监控画面、配方管理及密码管理功能。
3）应用范围：
适用于实验各种材料的表面改性处理，包括：清洗、活化、刻蚀、沉积、接枝与聚合等。
相关下载链接：
设备说明书
接枝机说明书
